随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性废气也日渐增多。这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染。这些废气吸入人体，直接对人体 的健康产生的危害，工业废气的无控制排放使性的大气环境日益恶化。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。低温等离子废气处理设备在此情 况下应运而生。
降解挥发性污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，利用低温等离子 体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有很大的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学等基础学科之上的交叉学科。因此，目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是意义上的低温等离子废气处理技术或根本达不到所要求的 处理效率。
是否是低温等离子体处理技术的简单判断方法：
现在，各传媒上宣传低温等离子废气处理的产品和技术很多，可这些产品的宣传大部分都是在炒低温等离子体概念。如何判断是否是意义上的低温等离子体技术？可以用下面两个简单的规则来判断，即使你不懂低温等离子体技术也能判断出是真是假。
(1)在废气处理的通道上满了低温等离子体。这条判断规则很简单，只要用眼睛观察一下处理通道是否充满紫蓝色的放电就可以直观的了解是否是低温等离子体了（需要注意的是不要将各种颜色的灯光当作低温体放电）。如果在废气处理的通道上只有零星的分布，少量的放电点或线，则处理的效果是非常有限的。因为，大部分的(VOCs)气体没有进过低温等离子体处理区域。如果放电点或线很少，处理单元就只能承受很小的功率（比如，几百瓦功率），而且在此情况下，就开始出现拉弧，打火现象。如果出现此现象，处理效率会急剧下降。因此，通道上布满密集的放电点，在不拉弧、不打火的情况下，才能承受并达到足够的处理功率，才能有足够的能量打开的废气分子键。
(2)低温等离子体处理系统要有放电处理功率。通常需要在2～5瓦时/立方米/小时。即1000立方米/时的风量需要处理的 功率为2KW～5KW。如果号称1000立方米/时的风量只需要几十或几百瓦的电功率，则也就是静电(除尘)处理或局部处理而已。要想分解VOCs没 有的能量是不可能的。
近几年随着环保设备的发展和光氧净化器净化效果，采用光解工艺对单一的废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，光解设备功率充足的情况下，测得光解净化效率均可达到以上。但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到光解适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到光解净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等等，导致UV光解的净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。
所以很难单纯的去界定一套光解净化设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响光解净化设备净化率的各种因素，尽量的去提高UV光解净化工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，光解净化系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到以上甚至高。
